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  • 真空系统在热真空试验设备中的应用

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    试验真空环境模拟为了考核和研究某些活动部件、伸展机构的干摩擦、冷焊性能和研究材料在真空条件下的升华、重量损失、老化等效应,需要在更高的真空度和其他空间环境因素的组合下进行试验。大家都知道现在在各个行业的应用越来越广泛,下面我们为大家介绍一下现在常用的真空系统真空系统在热真空试验设备中的应用吧。

     


    真空系统应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路专用设备中的关键设备之一;它也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。

     

    热真空试验是指在真空和一定的温度条件下验证航天器及其组件各种性能与功能的试验,由冷浸、热浸与变温过程组成。其环境条件为真空度优于6.5×10-3Pa;具有冷黑背景,半球法向发射率大于0.90。在模拟试验时,试件多处于工作状态并测量其工作参数和环境参数。冷浸是使航天器及其组件处于规定的试验最低温度,并停留规定的时间;热浸是使其处于规定的试验最高温度,并停留规定的时间。从室温开始降至规定的试验最低温度,实行冷浸再上升至规定的试验最高温度,实习热浸,最后回到室温,成为一个温度循环。

     

    热真空试验设备又称空间环境模拟设备或空间模拟器,它是模拟卫星及其组件在轨道运行中的高真空条件下,对卫星组件进行考验,这就是通常说的组件热真空试验。热真空试验箱主要由真空容器、热沉与辐射屏、试验平台、制冷、加热系统、真空系统、真空系统、循环水系统、供气系统、测量与控制系统及安全保护系统组成。

     

    真空系统在热真空试验设备中的应用的使用说明

     

    在投入生产使用前,必须仔细检查各部位紧固件是否有松动现象,若有松动必须校正拧紧。开车前水箱必须加满水,打开泵进口阀,再运行耐腐泵,严禁泵脱水空转及反转,以防止损坏机封、叶轮及泵体其它部件。真空系统停车前先打开放空阀或等真空度降至0.092MPa以下,再停车。以防真空度过高形成倒吸损坏止回阀。(如止回阀失灵,请打开止回阀盖,清除杂物)。在使用汽水串联喷射真空系统时,先开车再打开蒸汽阀,停车时先关掉蒸汽阀再停车,以防止温度过高而损坏水喷射真空泵。真空系统在安装蒸汽管路时,管路一定要保持水平,防止管内有积水,否则将影响真空效果。水箱内的循环水应经常更换或补充,尽量保持较底的水温,因为水温过高会影响排气量和真空度。



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